芯片測試設備行業現狀
2022-06-22 18:25:40
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芯片生產需要經過數百個步驟,任何錯誤都可能導致設備故障。因此,芯片檢測環節至關重要,使用良好的芯片測試設備和方法是提高芯片制造水平的關鍵之一。同時,集成電路的設計是否合理,產品是否可靠,都需要通過集成電路的功能和參數測試來驗證。
一、集成電路芯片測試的三大核心設備
設備制造業是集成電路的基礎產業,是完成晶圓制造、封裝測試、實現集成電路技術進步的關鍵。在集成電路生產線投資中,設備投資達到總資本支出的80%左右(SEMI估計)。
所需的特殊設備主要包括晶片制造所需的光刻機、化學蒸汽相沉積(CVD)設備、蝕刻機、離子注入機、表面處理設備等;切割減薄設備、測量缺陷檢測設備、鍵合密封設備等;測試機、分揀機、探針臺等;以及其他前端工藝所需的擴散、氧化和清潔設備。這些設備的制造需要綜合利用光學、物理、化學等科學技術,具有技術含量高、制造困難、設備價值高的特點。
集成電路的測試設備主要包括測試機、分揀機和探測器。集成電路測試設備作為一種重要的特殊設備,不僅可以判斷被測試的芯片或設備的合格性,還可以提供關于設計和制造過程的薄弱環節的信息,這有助于提高芯片制造的水平。其中:測試機是一種檢測芯片功能和性能的特殊設備。測試入信號應用于芯片,并將測試芯片的輸出信號與預期值進行比較,以確定芯片在不同工作條件下的功能和性能的有效性。
分揀機和探針臺是將芯片的引腳與測試機的功能模塊連接起來,實現批量自動測試的專用設備。在設計驗證和成品試驗過程中,測試機需要與分揀機一起使用;在晶片檢測過程中,測試機需要與探針臺一起使用。
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